Post-Dicing-Bildverarbeitungsinspektion

Ein innovatives Bildverarbeitungssystem zur Erkennung von Defekten und Ausrichtungsfehlern, um die Qualität der gesägten Halbleiterwafer zu gewährleisten.

Bildverarbeitungssystem nach dem Schneiden

Bietet eine vollautomatische Inspektions- und Messlösung für Wafer nach dem Schneiden, mit einem Hochgeschwindigkeits-Inspektionssystem für vierseitige Inspektionen im laufenden Betrieb.

Gel-Schale, Entnahme vom Dicer-Sägetisch
JEDEC-Tray, Behälterfächer, Tape & Reel (Optional), Gravitationsbehälter (Optional)
Die (Mind. 1,1 mm x 1,5 mm)
Oberflächeninspektion
Wafer-Ausrichtung, kosmetische Oberflächeninspektion, Markierung, Ausrichtung, 2DID-Inspektion
Unterseite & 4-seitige Inspektion
Oberflächenkosmetik, Dimension, Risse, Absplitterungen, Pad-Länge, Pad-Breite, Pad-Kontamination, Pad-Brückenschluss
Post-Seal Inspektion
Gebrochene Dichtung, Beschädigte Dichtung