Inspektion auf Wafer-Ebene
Trooper-V
SiC- & GaN-Wafer-Level-AOI-Handler
Trooper-V ist Pentamasters nächster Schritt in der
Entwicklung eines Hochgeschwindigkeits-AOI-Handlers, der für Wafer-Level-Pakete konzipiert wurde. Mit
hochwertigen Objektiven ermöglicht er verschiedene Vergrößerungsstufen, um unterschiedliche Dies-Typen und
-Größen zu inspizieren.
Er ist in zwei verschiedenen Ausführungen erhältlich, je nach den Anforderungen unserer Kunden – eine Ausführung für den Einsatz in Reinräumen (Klasse 1000) und eine weitere für den Betrieb auf standard Produktionsflächen.
| Rohwafer (6“, 8“, 12“), Mylar-Wafer-Ring (6“, 8“, 12“) | |
| Siliziumkarbid (SiC), Gallium-Nitrid (GaN), CMOS-Bildsensoren, Flip-Chip, Die | |
| Wafer-Ausrichtung, Die-Oberflächen-Inspektion, Probenmarken-Inspektion, Wafer-Säge-Linien-Inspektion (optional), Endgültige Verifikation | |
| Kamera Hochauflösende Farbkameras Linsensystem: Vergrößerung1.0x, 2.0x, 3.0x, 5.0x, 7.5x, 10.0x BeleuchtungLichtquelle mit RGB-Konfiguration Kurzwellige Infrarot-Technologie (SWIR)untere Kamera (optional) |
ZAN-X 2000
Fortschrittliche Wafer-AOI
ZANX 2000 ist ein hochmodernes automatisches Wafer-Inspektionssystem, das für die hochauflösende Detektion von Mikro- und Makro-Oberflächendefekten auf Bare Wafern und Film-Frame Wafern entwickelt wurde.
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Bare Wafer (6", 8", 12") Wafer Dicke: 100um~1000um Film frame Wafer (6", 8", 12") |
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| FOUP/FOSB, Open Cassette, Metal Kassette | |||||||||||||||||||
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