ウェハレベルバーンイン

Trooper-BIは、ウェーハレベルでの炭化ケイ素バーンインに優れた性能を発揮する、マルチウェーハチャック搭載の全自動バーンインシステムです。複数のウェーハを同時にバーンインすることが可能で、高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、カセットからチャックへのウェーハのハンドリングを自動化します。ハンドラーは6 から8インチまでのウェハーに対応し、200℃までのサーマルチプローブテストが可能です。