ウェハレベルテスト
Trooper-CP-200HT
ウェーハレベルプローバ (6インチ、8インチウェーハ)
ウェーハの特性を評価するためのワンストップ・テスト・ソリューションを提供し、次の製造段階に進む前に初期不良を特定することで、ウェーハが厳しい要件を満たしていることを保証します。
| 薄型/タイコ・ウェーハ | |
| 6インチ、8インチ | |
| EFEMロボット付きウェーハカセット | |
| ±2 μm | |
| ±2 μm | |
| X/Y: 250ms(10mmの場合) Z: 250ms(0.5 mmの場合) |
|
| ケーブル、ハード・ドッキング | |
| -40°C~200°C、精度±1 | |
| ウェハーアライメント、プローブマーク検査 |
Trooper-CP-300HT
ウェーハレベルプローバ (8インチ、12インチウェーハ)
ウェーハの特性を評価するためのワンストップ・テスト・ソリューションを提供し、次の製造段階に進む前に初期不良を特定することで、ウェーハが厳しい要件を満たしていることを保証します。
| 薄型/タイコ・ウェーハ | |
| 8インチ、12インチ | |
| EFEMロボット付きウェーハカセット | |
| ±2 μm | |
| ±2 μm | |
| X/Y: 250ms(10mmの場合) Z: 250ms(0.5 mmの場合) |
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| ケーブル、ハードドッキング | |
| -40°C~150°C、精度±1 | |
| ウェハーアライメント、プローブマーク検査 |