ウェハーレベルの検査
Trooper-V
SiCとGaNのウェハーレベルのAOIハンドラー
Trooper-Vは、ウェハーレベルのパッケージ向けに設計されたPentamasterの次世代高速AOIハンドラーです。高品質の対物レンズにより、さまざまなタイプとサイズのダイに対応するためのさまざまなレベルの倍率が可能になります。
お客様の要件に応じて2種類の設計が用意されており、1つはクリーンルーム（クラス1000）で動作可能な設計、もう1つは標準的な生産現場で動作可能な設計です。
| 生ウェハー(6”、8”、12”)、マイラーウエハーリング(6”、8”、12”) | |
| シリコンカーバイド(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、CMOSイメージセンサー、フリップチップ、ダイ | |
| プレウェハーアライメント、ダイ表面検査、プローブマーク検査、ウェハーソーライン検査 [オプション]、最終検証 | |
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カメラ 高解像度カラーカメラ レンズの拡大機能1.0x, 2.0x, 3.0x, 5.0x, 7.5x, 10.0x 照明RGB構成の光源 短波赤外線(SWIR)イメージングテクノロジーボトムカメラ オプション |
ZAN-X 2000
先進のウェハーAOI
システム ZANX 2000 は、ベア ウェハーおよびフィルム フレーム ウェハー上の微細およびマクロの表面欠陥を高分解能で検出するために設計された高度な自動ウェハー検査システムです。
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ベアウェーハ (6インチ、8インチ、12インチ) ウェハー厚さ: 100um~1000um フィルムフレームウェーハ(6インチ、8インチ、12インチ) |
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| FOUP/FOSB、オープンカセット、メタルカセット | |||||||||||||||||||
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